有機高純氣體分為：

烷烴類：甲烷（CH4）,、乙烷（C2H6）,、丙烷（C3H8）、環(huán)丙烷（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）,、異丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12),、新戊烷（neo-C5H12）,、氯甲烷（CH3Cl）、氯乙烷（C2H5Cl）,、三氟甲烷（CHF3）,、環(huán)氧乙烷（C2H4O）、砷烷（AsH3）,、磷烷（PH3）,、硼烷（B2H6）、硅烷（SiH4）等,；

烯烴類：乙烯（C2H4）,、丙烯（C3H6）、丙二烯（C3H4==）,、1-丁烯（1-C4H8）,、異丁烯（i-C4H8)、反-2-丁烯（t-2-C4H8）,、順-2-丁烯（c-2-C4H8）,、1.2-丁二烯（1.2-C4H6）、1.3-丁二烯（1.3-C4H6）,、氯乙烯（C2H3Cl）等,；

炔烴類：乙炔（C2H2）、1-丁炔（1-C4H6）,、2-丁炔（2-C4H6）,、甲基乙炔（C3H4）、乙烯基乙炔（C4H4=≡）等,；

其他：二甲醚（C2H6O）,、甲硫醇（CH4S）、熏蒸劑（C2H4O-CO2)等

?

無機高純氣體分為：

1,、空氣（Air）,、氫氣（H2）、氧氣（O2）,、氮氣（N2）,、氬氣（Ar）、氦氣（He）,、氖氣（Ne）,、氪氣（Kr）,、氙氣（Xe）等；

2,、氨氣（NH3）,、氯氣（Cl2）、二氧化硫（SO2）,、一氧化碳（CO）,、二氧化碳（CO2）、二氧化氮（NO2）,、氧化亞氮（N2O）,、氧硫化碳（COS）、氯化氫（HCl）,、溴化氫（HBr）,、硫化氫（H2S）等；

3,、三氟化硼（BF3）,、三氯化硼（BCl3）,、四氟化碳（CF4）,、四氟化硅（SiF4）、四氯化硅（SiCl4）,、六氟化硫（SF6）等

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檢測標(biāo)準(zhǔn)（部分）：

GB/T 18994-2014 電子工業(yè)用氣體高純氯

GB/T 3634.2-2011 氫氣第2部分：純氫,、高純氫和超純氫

GB/T 4844-2011 純氦、高純氦和超純氦

GB/T 8979-2008 純氮,、高純氮和超純氮

GB/T 14599-2008 純氧,、高純氧和超純氧

GB/T 17873-2014 純氖和高純氖

GB/T 18994-2014 電子工業(yè)用氣體高純氯

HG/T3633-1999 純甲烷

GB/T14599-1993 高純氧高純